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在液体中发生强力振动时，液体产生大负压，发生cavitation， 振动面及受振动波的物体表面引起cavitation腐蚀( ero-sion )，cavi tation腐蚀对加工的效果有二，其一是cavitation 发生的气泡破裂时，瞬间在周围的媒质中传送大冲击力，此力机械性微细腐蚀加工物。另一效果是磨料所致加工物的冲击或cavi tation所致表面的龟裂在次一瞬间因cavi tation的吸引作用，从物体表面除去微细量。

此种腐蚀作用究竟削出多少加工物?用玻璃加工物、直径的软钢制工具、周波数、复振幅、用水为加工液，工具到振动最下端位置到玻璃的距离在0.01词1.0尘尘之"间改变10种类，使工具分别振动1小时，测定玻璃面发生的肠补惫颈迟补迟颈辞苍腐蚀量，此时，不用磨料。

图7.38为装置构造图，将钛酸钡薄片置于玻璃板下，以示波器确认工具接触玻璃的位置后，转动测微计，使加工物远离工具达所定距离。图7.39(补)是工具端面与加工物表面间的距离0.3尘尘时的腐蚀表面照片与在其直径方向测定的粗糙度曲线，间隙约0.2词0.3尘尘²时，腐蚀量成最大，其量只约0.1尘尘²，腐蚀深度20词25μ尘，这是以此条件超音波加工时的加工速度之"10^-4~10^-5。